基于压电陶瓷驱动的六自由度空间光学拼接系统
摘 要：由于加工工艺的限制，大口径空间光学系统通常由多个子镜拼接而成。为了保证系统的成像质量，每个子镜都需要在毫米级范围内实现微米级精度的运动调节。提出了一种串并混联的、由压电陶瓷（PZT）驱动的六轴…
压电陶瓷驱动
摘 要：由于加工工艺的限制，大口径空间光学系统通常由多个子镜拼接而成。为了保证系统的成像质量，每个子镜都需要在毫米级范围内实现微米级精度的运动调节。提出了一种串并混联的、由压电陶瓷（PZT）驱动的六轴…
