氧化钇陶瓷

氧化钇陶瓷氧化钇（Y2O3）为立方结构，熔点高，化学和光化学稳定性好，光学透明性范围较宽，声子能量低，容易实现稀土离子的掺杂。其具有卓越的等离子体抗性，对于务必避免颗粒污染的半导体加工设备应用而言是…