高温合金上AlON/Al2O3复合绝缘层的制备及绝缘性能研究 摘 要:为了提高镍基高温合金基底的高温电绝缘性能,改善航空发动机工作过程中温度传感器的可靠性问题,采用直流反应溅射的方法溅射非晶 AlON薄膜,将电子束蒸发沉积的 Al2O3薄膜作为保护层,制备了 A… 最新研究 #反应溅射 #复合绝缘层 #非晶 AlON #高温合金衬底 #高温绝缘
