氧化钇透明陶瓷这一冷门材料,我们来认识一下 氧化钇陶瓷 氧化钇(Y2O3)为立方结构,熔点高,化学和光化学稳定性好,光学透明性范围较宽,声子能量低,容易实现稀土离子的掺杂。其具有卓越的等离子体抗性,对于务必避免颗粒污染的半导体加工设备应用而言是… 专栏作者 #氧化钇陶瓷