叠层电感元件之工艺

1.叠层电感元件和制作工艺

叠层电感(磁珠)是把有电极的陶瓷膜片(Sheet),以一定的方式叠合、加压、切割、排胶,一次烧结使之形成独石(Monolithic)结构,再制作端电极,之后就制成了叠层电感器(磁珠)。或者说是利用流延(或印刷)工艺制作的陶瓷膜片(或半导体陶瓷膜),以一定的方式 叠合(印刷)、切割、脱粘合剂,一次烧结,再制作端电极而制成的电感元件。

叠层电感元件

叠层是指在流延(或印刷)工艺生产的陶瓷膜片上,先印刷上几十个或几百个电极图案,然后把许多层这种膜片交错叠合,形成长方形或正方形叠片状构造。目前较为成熟的制作工艺

是流延穿孔法和交替印刷法。

流延穿孔法,即将低温烧结的介质材料加粘合剂等制成浆料,用流延工艺制成干膜片,在设定的位置用机械方法打通孔,然后在干膜片上印刷3/4周导电的电极浆料,同时,在通孔中填充满电极浆料。将印刷导电电极浆料的干膜片精确定位,叠层加压形成一个整体,在精密切割机上切成单个的片感生坯,脱粘合剂,在900℃以下共烧形成独石结构,再制作端电极后,就制成了叠层电感器。

交替印刷法,即将低温烧结的介质材料加粘合剂等制成适合于丝网印刷工艺的浆料,印刷成介质膜。在此膜上,印刷3/4周导电的电极浆料,再在1/2的区域上印刷介质膜,这样,1/2周的导电电极浆料被介质膜覆盖,1/4周未被覆盖。再继续印刷3/4周导电的电极浆料,与上次印刷未被覆盖的导电电极浆料相连接,从而形成一匝回路导体,中间由介质膜隔开。重复这一过程,就印刷成叠层电感结构,然后烘干、精密切割、排胶、倒角。在900℃以下共烧形成独石结构,再制作端电极后,就制成了叠层电感器。

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