双离子束溅射 Al2O3薄膜高温绝缘特性的研究
摘要:随着薄膜传感器在航空工业中的应用,高温绝缘层的研究发展愈加重要。在此研究背景下,采用双离子束溅射的方法制备了Al2O3薄膜高温绝缘层,探讨了溅射时的衬底温度对Al2O3薄膜物相结构的影响,并研究了所制备的Al2O3薄膜从室温至1000°C范围内的绝缘特性。另外,本文还将所制备的Al2O3薄膜高温绝缘层应用在热阻型温度传感器中,测试了其在高温环境中的表现。结果表明:双离子束溅射沉积的Al2O3…
摘要:随着薄膜传感器在航空工业中的应用,高温绝缘层的研究发展愈加重要。在此研究背景下,采用双离子束溅射的方法制备了Al2O3薄膜高温绝缘层,探讨了溅射时的衬底温度对Al2O3薄膜物相结构的影响,并研究了所制备的Al2O3薄膜从室温至1000°C范围内的绝缘特性。另外,本文还将所制备的Al2O3薄膜高温绝缘层应用在热阻型温度传感器中,测试了其在高温环境中的表现。结果表明:双离子束溅射沉积的Al2O3…
