腐蚀模板法获取高长径比β-Si3N4晶种的工艺参数研究
摘要：采用腐蚀模板法对氮化硅陶瓷薄板进行熔融碱腐蚀处理获取 β-Si3N4晶种。 研究了腐蚀介质、时间对晶粒形貌及分散性的影响。 优化了超声、磁力搅拌、研磨三种晶粒剥离的方法，确认磁力搅拌的方法是最佳…
氮化硅流延基板
摘要：采用腐蚀模板法对氮化硅陶瓷薄板进行熔融碱腐蚀处理获取 β-Si3N4晶种。 研究了腐蚀介质、时间对晶粒形貌及分散性的影响。 优化了超声、磁力搅拌、研磨三种晶粒剥离的方法，确认磁力搅拌的方法是最佳…
