双离子束溅射 Al2O3薄膜高温绝缘特性的研究
摘要:随着薄膜传感器在航空工业中的应用,高温绝缘层的研究发展愈加重要。在此研究背景下,采用双离子束溅射的方法制备了Al2O3薄膜高温绝缘层,探讨了溅射时的衬底温度对Al2O3薄膜物相结构的影响,并研究了所制备的Al2O3薄膜从室温至1000°C范围内的绝缘特性。另外,本文还将所制备的Al2O3薄膜高温绝缘层应用在热阻型温度传感器中,测试了其在高温环境中的表现。结果表明:双离子束溅射沉积的Al2O3…
摘要:随着薄膜传感器在航空工业中的应用,高温绝缘层的研究发展愈加重要。在此研究背景下,采用双离子束溅射的方法制备了Al2O3薄膜高温绝缘层,探讨了溅射时的衬底温度对Al2O3薄膜物相结构的影响,并研究了所制备的Al2O3薄膜从室温至1000°C范围内的绝缘特性。另外,本文还将所制备的Al2O3薄膜高温绝缘层应用在热阻型温度传感器中,测试了其在高温环境中的表现。结果表明:双离子束溅射沉积的Al2O3…
摘 要: 针对光电器件气密封装需求, 提出采用多层电镀技术制备含金属围坝的三维陶瓷基板。分析了该技术可行性, 重点研究了电镀时间与电流密度对镀层厚度影响, 随后采用多层图形电镀技术制备了含铜围坝的三维…
摘 要: 随着现代化、智能化技术的不断加强, 智能材料的投入和使用推动了现代智能仪器的良性发展。作为压电传感器领域的核心元件, 1-3 型压电复合材料的出现优化了纯陶瓷类压电材料的性能, 是当前一种具备高机电特性、 高稳定性的功能材料, 已被广泛应用于水声检测、无损探伤、医疗超声等技术领域。近年来, 随着换能器对高频宽带、耐高温高压的技术需求不断提升, 系列 1-3 型压电复合材料衍生类设计也随之…
摘 要: 在5G高频通信时代, 电子产品向微小型化和多功能化方向发展, 对电子元器件的集成和封装提出了更高的要求。低温共烧陶瓷(LTCC)技术作为无源元器件集成的关键技术, 在开发高频、高性能、高集成…
摘 要:分析了日本高性能低压腐蚀箔结构-性能特征,在此基础上讨论了腐蚀箔结构模型,并采用压汞仪测试和固态铝电解电容器性能测试进行模型验证。结果表明,规格为 U179H 和LT23B腐蚀箔的性能差异主要…
摘 要:如何有效治疗牙周炎并实现受损牙周骨组织再生,一直是牙周疾病治疗中具有挑战性的问题,而矿化是牙周正常发育和功能中关键因素之一。本研究旨在探讨硅酸钙锂(Li2Ca2Si2O7)生物陶瓷对人牙周膜成…