硅基ZnO光电导紫外传感器的制备与性能表征
摘要:通过控制氩氧气体体积流量比,在单晶硅片上通过磁控溅射的方法制得c轴择优取向的ZnO薄膜,其(002)衍射峰的半高宽仅为0.3°,ZnO薄膜的常温光致发光光谱仅有一个发光峰位于3.17eV,是Zn…
摘要:通过控制氩氧气体体积流量比,在单晶硅片上通过磁控溅射的方法制得c轴择优取向的ZnO薄膜,其(002)衍射峰的半高宽仅为0.3°,ZnO薄膜的常温光致发光光谱仅有一个发光峰位于3.17eV,是Zn…
摘要:基于溶胶凝胶旋涂法和后退火工艺在石英玻璃基底上制备了高质量的V2O5薄膜,研究其相变光学特性和电学特性。通过X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析了V2O5薄膜的晶体结构和形貌,利用…
摘要:随着薄膜传感器在航空工业中的应用,高温绝缘层的研究发展愈加重要。在此研究背景下,采用双离子束溅射的方法制备了Al2O3薄膜高温绝缘层,探讨了溅射时的衬底温度对Al2O3薄膜物相结构的影响,并研究了所制备的Al2O3薄膜从室温至1000°C范围内的绝缘特性。另外,本文还将所制备的Al2O3薄膜高温绝缘层应用在热阻型温度传感器中,测试了其在高温环境中的表现。结果表明:双离子束溅射沉积的Al2O3…
摘 要: 针对光电器件气密封装需求, 提出采用多层电镀技术制备含金属围坝的三维陶瓷基板。分析了该技术可行性, 重点研究了电镀时间与电流密度对镀层厚度影响, 随后采用多层图形电镀技术制备了含铜围坝的三维…
摘 要: 随着现代化、智能化技术的不断加强, 智能材料的投入和使用推动了现代智能仪器的良性发展。作为压电传感器领域的核心元件, 1-3 型压电复合材料的出现优化了纯陶瓷类压电材料的性能, 是当前一种具备高机电特性、 高稳定性的功能材料, 已被广泛应用于水声检测、无损探伤、医疗超声等技术领域。近年来, 随着换能器对高频宽带、耐高温高压的技术需求不断提升, 系列 1-3 型压电复合材料衍生类设计也随之…
摘 要: 在5G高频通信时代, 电子产品向微小型化和多功能化方向发展, 对电子元器件的集成和封装提出了更高的要求。低温共烧陶瓷(LTCC)技术作为无源元器件集成的关键技术, 在开发高频、高性能、高集成…
摘 要:分析了日本高性能低压腐蚀箔结构-性能特征,在此基础上讨论了腐蚀箔结构模型,并采用压汞仪测试和固态铝电解电容器性能测试进行模型验证。结果表明,规格为 U179H 和LT23B腐蚀箔的性能差异主要…